한국과학기술 연 「연구사례전시회」

한국과학기술연구원(KIST)의 「연구사례 전시회」가 11∼15일 KIST국제회의실에서 열린다.
이번 전시회에서는 ▲막형인공심폐기 (분리막연구실) ▲플라즈마 CVD (화학증착법)에 의한 저저항텅스텐박막제조 (반도체재료연구실) ▲식품 중 인체유해물질의 체계적 분석 (도핑 컨트롤센터) ▲지문인식시스템 (시스템공학연구소) ▲유전공학기법에 의한 고등식물로부터 인슐린생산 (식물분자생물학연구실)등 KIST가 개발한 27개 연구사례가 전시된다.
전시되는 연구사례 중 민석기 박사팀 (반도체재료연구실)의 텅스텐박막제조기술은 반도체소자의 신호처리선로로 사용되는 텅스텐박막의 저항성과 증착성을 높게 해주는 기술.
지금까지의 텅스텐박막제조 기술은 실리콘 기판을 손상시키고 다른 물질에는 증착이 안 되는 문제점이 있어 16/64M급의 고집적회로소자의 개발에 장애가 돼 왔다.
그러나 민 박사팀이 개발한 텅스텐박막제조기술은 플라즈마 상태에서 특수처리기술로 제조, 저항성과 증착성이 좋아 고집적회로소자 등의 신호처리선로로 광범위하게 응용될 전망.