㈜엠아이티가 개발한 300? 웨이퍼 검사용 초음파 자동화 검사 장비.
㈜엠아이티가 ‘대한민국 창조경영 2024’ 혁신경영 부문에 선정됐다.
최종명 대표가 2017년 10월 설립한 ㈜엠아이티는 반도체 내부 결함을 검사하는 산업용 비파괴 검사 장비와 전수 검사를 위한 양산 라인용 초음파 자동화 검사 장비의 국산화에 앞장서 왔다. 사업 초기부터 전력반도체 모듈 및 DCB·AMB 세라믹 기판 검사용 등의 전기차 분야 초음파 자동화 검사 장비를 세계 최초로 개발해 기업에 공급하고 있다. 최근엔 최첨단 메모리반도체의 적층화 트랜드에 부합하는 300mm 본딩 웨이퍼 내층(내부 결함) 검사용 초음파 자동화 검사장비를 개발, 국내 최초로 상용화에 성공한 뒤 메모리 고객사의 양산 적용을 시작했다.
엠아이티는 대량 고속 전수 검사를 위한 인라인 시스템 설계 기술, 워터폴 방식의 고속 스캐닝 기술, 휨 시료 검사 기술, 멀티 레이어 동시 검사 기술 등 초음파를 활용한 초고속 내부 결함 검사 관련 핵심 기술을 보유하고 있다.
