<올 2분기 특허기술상 영예의 수상자들> 지니텍 이춘수 연구원팀

이춘수 연구원팀은 원자 하나 두께의 얇은 막을 만드는 특수한 방법(PEALD)을 개발했다. 이 방법으로는 막을 한층씩 몇층이라도 쌓아 올릴 수 있다. 10억분의 1m 정밀도로 막을 만드는 기술인 것이다.

이는 4기가 D램 등 차세대 반도체를 만들기 위해 반드시 필요한 기술이다. 뿐만 아니라 지금의 반도체 소자와는 전혀 다른, 이른바 '양자전자 소자'를 만드는 데도 바로 활용할 수 있다. 이런 점 때문에 세계 유수의 반도체 기업들이 개발에 박차를 가했으나 이들을 제치고 국내의 벤처인 지니텍이 결실을 따냈다.

지니텍은 PEALD 기술을 다국적 반도체 장비 회사인 ASM에 공급하고 ASM이 판매하는 PEALD장비에 대해 기술료를 받기로 계약했다.

심사=김종찬 심사관