삼성전자가 네덜란드 반도체 장비업체 ASML에 모두 7억7900만 유로(약 1조1000억원)를 투자한다. 지분과 공동 연구개발(R&D)에 동시에 투자해 협력을 강화하기 위한 조치다.
삼성전자는 27일 7146억원을 들여 ASML 지분 3%(1259만5575 주)를 확보하고, 또 공동으로 차세대 기술을 개발하기 위해 향후 5년간 2억7600만 유로(3900억원)을 투입하기로 했다고 공시했다.
ASML은 반도체에 아주 미세한 회로를 새기는 ‘극자외선(EUV·Extreme Ultraviolet) 리소그래피’ 기술을 가진 업체다. 반도체 칩 제조 핵심 공정인 리소그래피 장비 분야에서 세계 시장의 약 3분의 2를 차지하고 있다. 전체 매출의 3분의 2가량을 아시아 지역에서 올리고 있다. 1984년 설립됐으며 삼성·SK하이닉스와 대만의 이노테라 등에 반도체 장비를 공급하고 있다. 또 애플 아이패드 생산라인과 노키아에도 생산장비를 대는 것으로 알려졌다. 삼성전자 관계자는 “이번 투자는 삼성전자가 차세대 반도체 제조 기술을 앞당겨 확보하는 데 도움이 될 것으로 기대한다”고 말했다. 반도체의 효율과 집적도를 높이기 위해 더욱 미세한 회로를 새기는 기술이 필요한데, ASML은 여기에 꼭 필요한 협력 파트너란 설명이다.
ASML은 삼성전자뿐 아니라 인텔 및 대만 TSMC와도 최근 비슷한 계약을 맺었다. 지분과 R&D 프로젝트에 동시에 투자를 받는 방식이다. 인텔은 41억 달러(약 4조6000억원), TSMC는 14억 달러를 ASML에 투자하기로 했다.
이지상 기자
