삼성전자 기가급 반도체용 감광제 개발

삼성전자는 0.10㎛(1백만분의 1m)이하의 회로선 폭을 가진 초미세 반도체를 만드는데 필수적인 아르곤플로라이드(ArF)감광제를 개발했다고 13일 밝혔다.

삼성전자는 이번 ArF 감광제 개발로 기가급 용량 이상의 반도체 상용화를 앞당길 수 있게 됐다고 설명했다.

감광제는 반도체 설계 회로를 사진으로 찍어 빛의 반응에 의해 원재료인 웨이퍼 위에 형성시키는 제조 과정에 필요한 고분자 재료다.

삼성전자는 감광제 개발 핵심 기술을 미국과 일본, 대만 등 세계 9개국에 특허 출원했으며, 앞으로 10년동안 특허 로열티로 6백만달러 이상의 수익을 올릴 것으로 전망했다.

표재용 기자