화학증착공정용 원료개발-나노테라소재화학 한상호사장

포항공대 창업보육센터 나노테라소재화학 한상호(韓尙鎬.31)사장이 차세대 반도체 소자(집적회로)에 필요한 뛰어난 화학증착공정(CVD)용 원료(전구체)를 개발해냈다.

CVD공정은 기존 PVD(물리증착)공정보다 우수한 박막을 만들어 성능이 뛰어난 반도체 소자를 만들수 있게 해준다.

그가 이 사업에 뛰어든 것은 국내 반도체 업체들이 전구체를 대부분 외국에서 수입하기 때문. 국내 반도체 수준은 1백원짜리 반도체를 생산하면 80원어치를 외국에서 들여온 장비.원료로 만드는 현실이다. 경북대 화학과 대학원을 마치고 포항공대 이시우(李時雨.48.화학공학과)교수 밑에서 연구원으로 일한 지 5개월만인 1998년 회사를 차렸다.

"연구원으로 일하다 국내 생산업체가 하나뿐인 전구체 분야가 틈새산업으로 성공할 수 있다는 확신이 들었습니다. "

화화과 출신 학.석사들을 직원으로 채용하고 李교수의 지도를 받아가며 직원들과 함께 대학 실험실에서 휴일을 잊은 채 연구에 몰두했다. 영업과 경영도 도맡았다.

그 결과 지난해 상반기까지 8건의 새로운 제품을 내놓았다. 이중 차세대 반도체 증착물질인 '나노-Q(Cu)' 는 가장 내세울 만한 제품. 지난해 매출 5천만원의 70%를 차지했고, 올해 예상매출 3억원의 60% 이상을 차지할 기대주다.

구리화합물인 나노-Q는 미국.일본 등 선진국의 일부업체들이 개발, 출시한 것보다 안정성.휘발성이 뛰어나고 증착속도도 6~8배 빠른 것으로 확인돼 기존제품보다 2배 이상 비싼 g당 2만원에 팔리고 있다.

황선윤 기자