코삼, 日 JSW와 기술제휴 애셔 장비 개발

반도체 제조용 냉각장비업체인 ㈜코삼(대표 김범용)은 일본의 반도체장비 전문업체 ‘JSW일본제작소’와 기술제휴를 맺고, 반도체 제조 메인장비인 ‘애셔(Asher)’ 개발에 본격적으로 나섰다.

‘애셔’는 웨이퍼 표면에 회로를 복사하는 사진공정에 사용된 감광제 (포토레지스트:photoresist) 잔유물을 제거하는 장비로, 반도체의 생산수율을 유지하기 위해 꼭 거쳐야 할 중요한 장비 중의 하나다.

코삼은 최근 JSW와의 기술제휴식을 통해 총 16억원이 투입되는 애셔장비 개발비를 양 사가 반씩 부담하키로 하고, 추가로 코삼은 애셔의 성능을 평가하는 반도체 제조공정 기술을, JSW는 애셔에 사용되는 각종 부품 및 기계기구 및 제어기술을 투여해, 내년 5월 말까지 반도체 차세대 제품인 300mm 웨이퍼를 겨냥한 애셔장비를 개발키로 했다.

김범용 코삼 사장은 “이번 애셔 개발을 통해 주변장비에 머물러 있던 기술수준이 한단계 성장하게 됨은 물론, 메인장비 진출을 통한 수익품목 다변화로 판매가 본격화되는 2002년에는 연 50억원에서 100억원 정도의 안정적인 매출증대를 기대할 수 있다”고 설명했다.

코삼은 애셔장비의 국산화가 완료되는 2001년 말부터, 국내에서의 경쟁력을 기반으로 JSW와 함께 대만 및 일본 장비시장에도 진출하기로 했다.

“코삼의 애셔 개발은 60% 이상을 수입에 의존해 왔던 국내 애셔장비 시장에 수입대체 효과를 주어, 원가절감을 통한 국산 반도체의 국제 경쟁력 강화에 도움을 줄 전망”이라고 관계자는 설명했다.

JSW 일본제작소는 1904년에 설립되어 지난 한세기동안 일본 근대화를 주도해 온 기간산업체로, 철강 및 기계, 방위산업, 반도체 제조장치 등을 생산하고 있으며, 3천여명의 임직원이 1조 5천억원의 매출을 올리고 있다.

국내 애셔장비 시장규모는 한해 350억원에서 5백억원 정도이며, 국내업체로는 ㈜PSK테크가 애셔장비를 시판하고 있고, 슬러리 공급장치를 생산해 오던 ㈜유니셈도 최근 애셔장비 개발을 진행 중인 것으로 알려져, 코삼을 비롯한 국내 반도체 제조장비 업체들의 메인장치 진출이 줄을 잇고 있다.

한편, 세계 1위의 시장점유율을 보이고 있는 우리나라의 반도체 메인장치 생산업체는 주성엔지니어링, PSK, 미래 등 소수에 불과해 국산화율이 형편없이 떨어지는 게 사실이다.

해외업체에 비해 가격이 저렴하고 24시간 A/S가 가능하다는 경쟁우위 덕분에 최근에는 국내 반도체 메이커들의 국산 제조장비 도입규모가 커지고 있다.

코삼과 같이 이미 시장에서 실력을 인정받은 국내 주변장비 생산업체들이 메인장비 시장에 속속 진입하고 있으며, 이는 장기적으로 한국 반도체의 경쟁력을 높여 장비 시장규모를 더 키우는가 하면, 이는 반도체 제조장비 업체들의 메인장비 시장진출로 이어지는 선순환을 계속하는 데 힘을 더할 것으로 보인다.

* 문의 : (0331) 205-5300, (02) 568-4923

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