새로운 반도체용 감광재료 세계 최초 개발

한국과학기술원 기능성고분자신소재연구센터(소장: 金聖喆 교수)의 김진백(金鎭伯)교수 연구팀(화학과)은 정보전자용 고분자신소재 연구를 수행하여 포토레지스트(반도체용 감광재료)분야에 있어서 기존의 공정을 획기적으로 개선시킬 수 있는 포토레지스트(반도체용 감광재료)를 세계 최초로 개발하였다.

김진백 교수가 이번에 개발한 건식현상형 포토레지스트(반도체용
감광재료)는 기존에 제시된 물질을 변형 또는 개선하는 수준을 넘어서 종래의 습식현상형 포토레지스트의 한계성을 극복할 수 있는 새로운 개념의 포토레지스트라고 할 수 있으며, 실제 공정적용 시 공정이 단순하고 공해물질도 줄일 수 있어 경제적인 이익도 크다.

또한 새로 설계되고 합성된 물질을 이용함으로써 기존의 특허를 피하는 차원이 아닌 새로운 물질 특허와 공정 특허 확보는 물론 기반 기술을 확보할 수 있으며, 현재 거의 수입에 의존하고 있는 포토레지스트의 국산화 및 수출을 가능하게 하고, 우리 나라의 핵심산업인 반도체산업의 경쟁력을 한층 높일 수 있을 것으로 기대된다.