<공시> 주성엔지니어링, 반도체 제조 공정 특허 취득

코스닥 등록기업인 주성엔지니어링은 5일 반도체 웨이퍼 세정방법 및 산화막 형성방법에 대한 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링은 이날 공시를 통해 '이 기술은 반도체 제조 공정에 응용할 수 있는 것으로 'CVD 클러스터 툴' 장비사업의 부가가치 향상에 사용된다'고 말했다.(서울=연합뉴스) 임주영기자