1기가 D램 생산 핵심장비 국산화-삼성전자

삼성전자는 1기가 D램 등 차세대 메모리반도체의 대량생산에 필요한 핵심장비인 건식식각(乾式蝕刻)장치를 국산화하는 데 성공했다고 5일 발표했다.삼성전자는 또 국내 취약부문인 반도체장비산업의 육성을 위해 이 장비제조의 기술을 국내 중 소 반도체장비업계에 이전하기로 했다.업체 선정기준은 조만간 마련할 계획이다.중소 반도체장비업체들은 이번 국산화기술 개발에 따라 연간 1천4백억원어치에 달하는 생산량을 맡게 될 것이라고 삼성전자측은 밝혔다.
93년부터 삼성이 약 30억원의 연구비를 들여 개발한 이 장비는 웨이퍼표면에 박막(薄膜)을 만드는 과정에서 불필요한 부분을 녹여 내는 에칭공정의 핵심장비다.