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다국적 반도체장비업체 ASM에 중소벤처 기술수출

중앙일보

입력

지면보기

종합 30면

직원 30명의 꼬마 벤처가 종업원 7천여명인 세계 톱 클라스의 대기업에 기술료를 받고 원천기술을 수출하게 됐다.

반도체 장비제조 벤처기업 지니텍 대표 이경수 (http://www.genitech.co.kr)은 네덜란드의 다국적 반도체 장비 업체인 ASM(http://www.asm.com)과 플라즈마 원자층 증착기술

(PEALD:Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition)과 구리 바닥채움 화학증착기술을 기반으로 한 기술 라이선스 계약과 장비 공동개발 및 장비공급에 관한 포괄적인 협력 계약을 했다고 24일 밝혔다.

ASM은 네덜란드에 본사를 두고 있으며 반도체 전.후 공정장비 전문의 다국적 기업으로 지난해 10억달러의 매출을 올렸다.

지니텍이 원천기술을 갖고 있는 플라즈마 원자층 증착기술은 원자를 기판에 쌓아 올려 반도체를 만드는 기술로 머리카락 1만분의1 두께인 10나노미터(1나노는 10억분의 1)의 초박막을 얻을 수 있다.

또 구리 바닥채움 화학증착기술은 반도체 배선에 기존의 알루미늄보다 싸면서도 재료비용은 절반 이하인 구리를 사용함으로써 낮은 비용에 높은 효율을 올릴 수 있다.이 두 기술은 현재 사용 중인 박막증착 방식을 대체하고 앞으로 10년간은 세계 시장을 리드할 것으로 전망된다.

지니텍은 ASM으로부터 라이선스료와 함께 생산 장비에 대해 일정액의 경상 기술료를 받게 돼 2005년까지 1천억원대의 수입을 올릴 것으로 기대하고 있다.

지니텍은 ASM에 앞서 국내 업체들과도 기술계약을 추진했으나 받아들여지지 않았던 것으로 알려졌다.

이경수 사장은 "반도체 관련 원천기술은 물리.화학 등 기초과학 싸움인데 여기서 세계적으로 인정받은 것이 자랑스럽다"며 "기술 수준뿐 아니라 기업 규모나 경영도 세계적인 기업으로 만들어가겠다"고 포부를 밝혔다.

구남평 대덕넷 기자

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