SK머티리얼즈가 최근 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다고 17일 밝혔다. 지난해 일본이 한국을 상대로 수출규제한 품목으로 반도체 생산에 있어 핵심 소재다. 지난해 말 시제품 개발에 성공했다. 이번 양산을 통해 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 목표다. 이와 함께 고부가 포토레지스트 영역에서도 국산화 작업을 본격화했다. 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나선 게 대표적이다. ArF PR은 해외의존도가 90%에 달한다.
