고순도 실리콘용 촉매 개발

중앙일보

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종합 08면

반도체의 기본소재인 고순도 실리콘을 얻는데 반드시 들어가야할 촉매가 과학기술원 정일남 박사팀에 의해 개발돼 미국·일본특허(제법)을 얻었다.
현재 국내에는 고순도 실리콘의 국산화 연구가 활발하게 진행되고 있는데 여기는 외국의 특허가 장애로 남아있었다.
정박사팀이 개발한 촉매는 유기용과 무기용이 화합된 신물질로 아직 상품화된 이름이 없다.
규소물질인 차돌을 구워 9가 9개 있는(99.9…9)정도의 순도를 갖는 실리콘을 만들려면 고체인 규소용 액체나 기체상태의 화합물로 바꾸어야 한다. 기체나 액체는 고체보다 훨씬 정제가 줄기 때문이다.
정제하는 과정에 촉매가 없으면 반응이 제대로 일어나지 않아 고순도 실리콘을 얻기가 어렵다. 지난80년 미유니언카바이드사는 이 촉매를 개발, 상품화시켜 지난해부터 판매를 시작했다.
고순도 국산 실리콘을 생산하려면 유니언사의 특허를 피해가야만 했다. 이에 연구팀은 83년 국책과제로 연구를 시작, 3년만에 개가를 올렸다.
촉매의 반응성은 외국제에 비해 더 우수한 것으로 나타났고 안전성도 뛰어났다.
정박사는 『기존제품보다 생산가는 조금 비싸지만 특허료를 물지 않고 생산이 가능하다는 점이 중요하다』며 『금년중에 물질특허가 나오면 국내기업에 기술이전도 가능하다』고 밝혔다.

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