연구원이 12인치 노광장비로 제작한 40㎚급 패턴웨이퍼를 선보이고 있다.
나노종합기술원이 ‘대한민국 창조경영 2024’ 동반성장경영 부문에 선정됐다.
나노종기원은 8인치 및 12인치 나노 반도체 공정 장비 등을 구축하고 다양한 산학연 연구자를 대상으로 연구개발(R&D)과 상용화 기술개발을 지원하고 있다.
현재까지 8877개 기관, 3만8894명의 연구자에 대해 21만8000여 건의 R&D 서비스를 지원했으며, 특히 장비 이용 건수는 40만6000여 건에 달한다.
최근에는 공공기관 최초로 12인치 반도체 소부장 테스트베드를 구축·운영해 반도체 증착장비 등의 소재·부품·장비 국산화에 앞장서고 있다.
올해 나노종기원은 연구자 중심의 R&D 기반을 구축해 ‘Service Provider’로서 역할과 책임을 다한다는 계획이다.
