ADVERTISEMENT

[2022 국가산업대상] 포토레지스트 등 첨단화학소재 개발·상용화

중앙일보

입력

지면보기

04면

기술혁신 부문 영창케미칼㈜  

영창케미칼㈜(회장 이성일)이 ‘2022 국가산업대상’ 기술혁신 부문 대상에 선정됐다.

영창케미칼은 지난 2001년 ‘친환경적인 제품 생산 실현’이라는 이념으로 설립해 다양한 반도체 첨단소재 기술을 선보여 왔다.

영창케미칼은 나노 기술에 기반을 둔 특수 화학 소재인 포토레지스트, 하드마스크, CMP 공정에 사용하는 화학물질(CMP Slurry) 등 차별화된 첨단기술을 보유하고 있다. 또 LED 소자, LCD-OLED 패널, 솔라셀 등을 비롯한 디스플레이와 친환경에너지 산업에 필요한 첨단화학 소재를 구현하는 등 끊임없는 혁신을 추구하고 있다.

특히 반도체 소재 중에서도 고난도 군에 속하는 포토레지스트는 막대한 기술개발 비용이 소요될 뿐 아니라, 원료생산과 품질관리(QC) 등 전 과정에서 철저한 관리가 필수적이다. 이에 영창케미칼은 2009년 국내 업체 중 최초로 i-line 광원용 네거티브형 포토레지스트를 개발해 상용화에 성공했다. 축적된 기술을 바탕으로 2014년에는 높은 기술력이 필요한 KrF 광원용 포토레지스트를 개발해 상용화했다. 최근에는 고객사 요구를 더욱 세분화해 해상도가 높고 두꺼운 제품을 개발하기도 했다.

ADVERTISEMENT
ADVERTISEMENT