SK하이닉스 “반도체용 네온가스 국산화 성공…2024년 전량 대체”

SK하이닉스가 반도체 노광공정 필수 원료인 네온가스 국산화에 성공했다. 사진은 SK하이닉스 메모리 반도체 생산 공정. [사진 SK하이닉스]

SK하이닉스가 국내 업계 최초로 반도체 필수 원료인 ‘네온(Ne) 가스’ 국산화에 성공하고, 공정 도입 비중을 40%까지 확대했다고 5일 밝혔다.

지금까지 국내 반도체 기업은 네온 공급을 수입에 의존했다. 하지만 지난 몇 년간 해외 주요 생산 지역의 정세가 불안해지면서 가격이 급등할 조짐을 보였다. SK하이닉스는 수급 불안 요인을 선제적으로 해소하기 위해 반도체용 가스 제조기업 TEMC, 포스코 등과 협력해 국산화에 성공했다.

네온은 공기 중에 0.00182%밖에 존재하지 않는 희귀 자원이다. 이를 채취하려면 대규모 공기 분리장치 등 초기 투자비용이 많이 발생한다. SK하이닉스 측은 “여러 협력업체와 기존 설비를 활용해 적은 비용으로 네온을 생산하는 기술을 개발했다”며 “이를 반도체 공정에 도입하면서 구매 비용을 크게 낮췄다”고 설명했다.

네온은 반도체 노광(露光) 공정(자외선을 비춰 미세회로 패턴을 만드는 반도체 공정)에 사용하는 엑시머 레이저 가스의 주재료다. 노광용 자외선을 발생시키는 엑시머 레이저 가스 성분의 95%가 네온이어서 반도체 공정에서는 필수 원료로 꼽힌다.

SK하이닉스는 지난 4월부터 노광 공정에 국산 네온을 도입했으며 현재까지 전체 사용량의 40%를 국산으로 대체했다. 2024년까지 전량을 국산으로 사용할 계획이다. 이 밖에 내년 6월까지 식각(蝕刻) 공정(웨이퍼 위에 새겨진 회로 바깥의 불필요한 부분을 깎아내는 공정)에 쓰이는 크립톤(Kr)·제논(Xe) 가스를 국산화한다는 방침이다.

윤홍성 SK하이닉스 FAB 원자재구매담당 부사장은 “이번 네온 국산화 및 공정 도입은 불안정한 국제 공급 상황에서 국내 협력사와 협업해 수급 안정화에 기여한 사례”라며 “지속적인 협력을 통해 반도체 원재료 공급망을 강화할 계획”이라고 말했다.

이동현 기자 offramp@joongang.co.kr