미르테크
인공지능(AI) 챗봇, 로봇, 자율주행차들 4차산업에 반도체 시장이 불러올 우리의 미래다.
사회적 약자 대상 반도체 분야 도제식 교육과 인력양성을 통한 반도체 신사업 동반 성장 솔루션을 개발하는 미르테크는 기술성과 사회적 가치를 통해 이번 12월 로우파트너스로부터 3억 원의 투자를 유치하였다고 밝혔다.
미르테크는 기술력 있는 반도체 웨이퍼 결함 고속 전수 검사시스템 기술과 반도체 기술의 도제식 교육을 통한 일자리 창출, 장애인의 고용기회제공, 해당 장비의 국산화 등 다양한 사회적 미션을 목표로 성장하고 있다.
반도체 제조공정에는 전공정과(제조) 후공정(PKG)으로 분류되며, 크게 8대 공정을 통해 만들어진다. 산화막 공정부터 금속배선 공정까지 워낙 복잡하고 미세한데, 특히 전공정인 웨이퍼 가공을 통해 얇은 기판 위에 직접회로가 탄생하고, 이 반복 과정에서 다양한 웨이퍼 결함이 발생한다.
반도체 웨이퍼 제조 과정에서는 검사 과정이 있지만 반도체 특성상 전수검사가 불가해 샘플링 검사를 통해 다양한 결함을 찾아낸다. 하지만 샘플링 검사에서는 웨이퍼 결함을 100% 방어하지 못한다.
미르테크㈜의 박정옥 대표는 웨이퍼 결함을 실시간 고속으로 전수 검사할 수 있는 새로운 혁신기술을 실현했다. 미르테크㈜는 스타트업 벤처기업으로 박대표는 반도체 회사에서 30여년 근무하면서 웨이퍼 검사 기술의 전문가이다.
미르테크㈜에서 개발한 제품은 모듈형태의 개발하여 기존 반도체 생산 설비에 탑제하여 Clean Room 공간 활용도를 높일 수 있고 별도의 Inspection Step도 필요 없고, 장비 설치 공간이 불필요하여 공간 활용도를 높일 수 있을 뿐만 아니라 Process와 웨이퍼 검사까지 2가지 기능을 동시에 수행이 가능하다. 또한 “웨이퍼 검사도 Pre-Post검사로 공정 전(Pre) ·후(Post) 분석이 가능하여 공정 사고성 예방이 가능하다”고 밝혔다.
박대표는 2022년에는 초기 창업패키지 정부 지원사업을 통해 제품화했고, 2023년에도 2개의 국책과제에 선정되어 진행 중에 있다.
먼저 한국반도체산업협회(한국산업기술진흥원)의 양산성능평가 R&D 과제와, 중소벤처기업부의 ‘소재·부품·장비 스타트업 100(이하 소부장) ’기업으로 선정돼 사업화 자금과 기술 멘토링, 수요기업 연계 등을 지원 등을 받아 현재 국내 반도체 SK하이닉스와 DB하이텍에서 수요기업으로 테스트베드를 진행 중이다. 특히, 오픈이노베이션 행사를 통해 수요기업과의 미팅기회를 제공받아 제품 판로 확보에 많은 도움을 받았다.
박대표는 30년간 계측장비 및 프로세스관련 업무를 통해 “어려운 경쟁에서 국책과제에 선정된 것은 미르테크㈜ 제품의 혁신성과 우수성이 입증된 것”이라며 “현재 반도체 검사장비의 90%가 해외업체에서 수입되지만 국내 국산 검사장비는 10% 미만으로 고가의 비용이 소요되고 있다”고 안타까움을 드러냈다.
미래의 4차산업에는 반도체가 필수적으로 최근에는 국가간 글로벌 패권 경쟁이 더욱 치열하다. 반도체 산업은 국가의 경쟁력으로 정부에서도 소부장과제를 지원하고 있어 해외 업체와 경쟁하여 장비의 국산화가 목표”라고 포부를 밝혔다.
이와 더불어 반도체 웨이퍼 폐기물 감소를 통한 환경 물질 ESG 감소, 사회적인 협동 조합기업과 동반성장하기 위한 협업 기회 창출, 반도체 도제식 교육을 통한 일자리 고용 창출 등 사회적 가치를 창출하기 위해 다양한 노력을 지속하고 있다.
한편 미르테크는 지난 10월 경기도사회적경제원이 주관하고 로우파트너스가 운영하는 사회적경제기업 육성프로그램인 임팩트 엑셀러레이팅 (사회적약자배려)에도 선정되었으며 교육, 멘토링, BM검증비 지원, 데모데이 등 다양한 지원을 통해 성장성과 사회적가치를 평가받고 있으며, 최근에는 사업화 준비도 완료한 상태이다.
박영덕 기자 park.youngduck@joins.com
