주성엔지니어링, 반도체 소자 제조방법 특허 취득

코스닥등록기업인 주성엔지니어링은 4일 반도체 소자 제조방법에 관한 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링은 이날 공시를 통해 '이번 특허는 화학 증착 방법으로 금속 실리사이드를 형성하는데 사용하는 기술'이라고 말했다.

주성엔지니어링은 이 특허기술을 기존의 화학 증착장비(CVD)에 적용할 예정이라고 덧붙였다. (서울=연합뉴스) 임주영 기자