반도체 제조용 장비 생산업체인 한국디엔에스(대표 박창현)가 국내에서 처음으로 개발한 3백㎜ 웨이퍼용 스테이션(제품명 K-WET300)으로 15일 정밀기술진흥대회에서 산업자원부 장관상을 받았다.
이는 반도체 제조 과정에서 발생하는 미립자와 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하고 약물을 사용해 금속물에 그림을 새기는 등 작업(에칭)할 때 쓰는 장비다.
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반도체 제조용 장비 생산업체인 한국디엔에스(대표 박창현)가 국내에서 처음으로 개발한 3백㎜ 웨이퍼용 스테이션(제품명 K-WET300)으로 15일 정밀기술진흥대회에서 산업자원부 장관상을 받았다.
이는 반도체 제조 과정에서 발생하는 미립자와 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하고 약물을 사용해 금속물에 그림을 새기는 등 작업(에칭)할 때 쓰는 장비다.
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