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과학기술정보통신부 산하 정부출연연구기관인 한국재료연구원(KIMS) 엔지니어링세라믹연구실 마호진·박영조 박사 연구팀이 반도체 제조 장비 내부의 오염 입자를 줄이는 내플라즈마성 세라
중앙일보
2023.03.22 15:15
2024.04.29 00:01
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